Método de produção de filmes espessos compósitos cerâmicos por sedimentação e infiltração de soluções sol-gel

Resumo

A presente invenção diz respeito a um método para produzir filmes espessos cerâmicos compósitos de espessura superior a 50 microns num grupo seleccionado de substratos a temperaturas inferiores a 600 graus Celsius, para aplicações piezoeléctricas.
Soluções de sol-gel são misturadas com até cerca de 90% em peso de particulas de pó (cerâmico ou de cristais simples) de material ferroeléctrico ou ferroeléctrico relaxador finamente dispersas.
A suspensão resultante é depositada por centrifugação sobre os substratos que sofrem posterior tratamento térmico para remover a matéria orgânica e desenvolver uma estrutura cristalina.Seguidamente, o substrato coberto com esta camada de material é impregnado da solução de partida para infiltração sob vazio nos poros surgidos durante o processamento anterior. O processo é ciclicamente repetido até se obter a espessura desejada. Os filmes resultantes são tratados termicamente para densificar o compósito.

Aspetos inovadores & principais vantagens

Proporcionar um método melhorado para a aplicação de filmes aderentes de compósitos cerâmicos a uma ampla gama de substratos com uma espessura superior a 1 micron e, pelo menos, até 50 micro sem fissurar. Proporcionar um processo sol-gel modificado e melhorado para produzir revestimentos compósitos cerâmicos policristalinos a baixa temperatura, inferior a 600 °C, para aplicações piezoelétricos.

Aplicações

Sensores, atuadores, aplicações eletromecânicos, MEMs.

Inventores

Vilarinho, Paula; Wu, Aiying; Kholkin, Andrei

Nossos Inventores

Titulares

Universidade de Aveiro
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