Resumo
A presente invenção fornece um novo método para o fabrico de dispositivos de microelectrónica que utiliza uma fina camada metálica de magnésio como barreira contra a difusão de oxigénio. Este método evita a difusão de oxigénio para o substrato durante o processo de deposição de filmes finos de óxidos e/ou evita a fuga de oxigénio do substrato para o meio ambiente ao substrato permitindo o uso e controlo da estequiometria de oxigénio e/ou do nível de oxidação durante o fabrico do dispositivo de microelectrónica. Se necessário e/ou conveniente, a camada fina de magnésio pode ser difundida para as camadas adjacentes através de tratamento térmico adicional.
Aspetos inovadores & principais vantagens
A utilização de subcamadas na fabricação de dispositivos eletrónicos é uma resposta à necessidade de evitar a passagem do oxigénio para o elétrodo metálico e, consequentemente, sua oxidação. Com a crescente miniaturização dos componentes eletrónicos, a utilização necessária dos interlayers está condicionada à diminuição dos mesmos, acompanhando a diminuição de escala dos referidos componentes. Háfnio, precursores de amida, ALD não-aquoso, outras técnicas de deposição como a MBE, substituição do SiO2 por dielétricos ultra-finos de SiO2 nitretados e interlayers de nitreto depostos, entre outras; são algumas das soluções que foram testadas ao longo dos últimos anos, todas apresentando deficiências em diversos níveis. A presente tecnologia apresenta uma nova abordagem que possui as seguintes vantagens:
A fina película de HFO2 colocada no topo do substrato de silício não se mistura entre a barreira e a película de óxido no topo e não apresenta mudanças de densidade do substrato;
Melhoria das propriedades elétricas;
Presença de descargas elétricas apenas devido à técnica de deposição do “high gate dielectric” (ALD) utilizada em laboratório.
Aplicações
Componentes eletrónicos para vários tipos de “hardware”.
Inventores
Lourenço, Armando ; Rauwel, ErwanNossos Inventores
Armando António Cardoso Dos Santos Lourenço
Professor AuxiliarTitulares
Universidade de AveiroGrupos Envolvidos
Patentes Similares
Pigmentos cerâmicos à base de resíduos industriais
Batista, João; Ribeiro, Manuel; Costa, Maria
Argamassas contendo microcápsulas de materiais de mudança de fase, processo para a sua preparação e sua utilização
Lucas, Sandra ; Ferreira, Victor ; Aguiar, José; Batista, João
Composição de Vidros Bioactivos, sua Utilização e Respectivo Método de Obtenção
Ferreira, José; Goel, Ashutosh;
Método de produção de filmes espessos compósitos cerâmicos por sedimentação e infiltração de soluções sol-gel
Vilarinho, Paula; Wu, Aiying; Kholkin, Andrei
Processo para a obtenção de cerâmica de barro vermelho incorporando lamas de tratamento dos efluentes gerados em operações de tratamento de superfície de metais, ou areias ou finos de areias de fundição, e produtos daí resultantes
Batista, João; Silva, Rui; Castro, Fernando; Figueiredo, José
Método de preparação de artefactos cerâmicos porosos
Segadães, Ana; Morelli, Márcio; Zurba, Nadia
Argamassas multifuncionais, para armazenamento de calor, despoluição do ar e auto-limpeza, processo para a sua preparação e utilização
Ferreira, Victor; Lucas, Sandra; Aguiar, José